产线自动化

高压电源提升光刻产线自动化水平

光刻产线的自动化水平是衡量先进制造能力的核心指标之一。高压电源作为光刻机内的精密执行和驱动单元，其自身的智能化、可控化和可通信化是提升整个产线自动化水平的底层技术保障。高压电源不仅是能量的供给者，更是自动化控制回路中的关键感知和执行节点。